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MT-CVD 氮碳化钛涂层新工艺
被引：7
作者：
陈旭
机构：
[1] 机械部成都工具研究所
来源：
关键词：
涂层工艺;
氮碳化钛;
新工艺;
MT-CVD;
成都工具研究所;
化学气相沉积;
陈旭;
化学汽相沉积;
化学沉积;
基体材料;
反应堆材料;
硬质合金基体;
CVD;
D O I：
10.16567/j.cnki.1000-7008.1998.01.006
中图分类号：
TG174.4 [金属表面防护技术];
学科分类号：
摘要：
ＭＴ┐ＣＶＤ氮碳化钛涂层新工艺机械部成都工具研究所（６１００５６）陈旭ＭＴ－ＣＶＤ（中温化学气相沉积）氮碳化钛涂层工艺是瑞士Ｂｅｒｎｅｘ公司在ＣＶＤ涂层工艺上的一系列创新成果之一，已获得专利权。采用ＨＴ－ＣＶＤ（高温化学气相沉积）工艺沉积氮碳化钛Ｔｉ...
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