校正激光直写邻近效应的快速方法

被引：2

作者：

杜惊雷

郭永康

黄奇忠

粟敬钦

高福华

邱传凯

崔铮

机构：

[1] 四川大学物理系

[2] 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室

[3] 英国卢瑟福国家实验室

来源：

光电工程 | 1998年 / 06期

关键词：

激光直写，邻近效应，激光光刻;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN305.7 [光刻、掩膜];

学科分类号：

1401 ;

摘要：

针对激光直写中的邻近效应的特点，提出通过直写曝光数据预补偿进行光学邻近效应校正的快速、有效方法，并获得了满意的实验结果。

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页码：52 / 55

页数：4

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共 1 条

[1] 光学邻近效应校正的新方法 [J].

杜惊雷 ;

黄奇忠 ;

黄晓阳 ;

郭永康 ;

崔铮 .

应用激光, 1997, (06) :244-246+243