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自聚焦平面微透镜阵列的制作及其基本特性
被引:6
作者
:
刘德森,高应俊,朱传贵,宋光年,高凤,姚胜利,闫国安
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学院西安光机所
刘德森,高应俊,朱传贵,宋光年,高凤,姚胜利,闫国安
机构
:
[1]
中国科学院西安光机所
来源
:
高技术通讯
|
1996年
/ 04期
关键词
:
自聚焦平面微透镜阵列,光刻离子交换;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TH740.3 [];
学科分类号
:
0803 ;
摘要
:
讨论了自聚焦平面微透镜阵列的制作工艺及其基本特性。
引用
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页码:35 / 39
页数:5
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