Pt／Ti电极的扩散行为及其对铁电薄膜的影响

被引：6

作者：

屈新萍，丁爱丽，罗维根，仇萍荪，陈先同

机构：

[1] 中国科学院上海硅酸盐研究所

来源：

关键词：

磁控溅射，Pt／Ti电极，扩散，铁电薄膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

TQ151.15 [];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

采用直流磁控溅射方法制备Ｐｔ／Ｔｉ电极，用ＲＢＳ、ＸＲＤ、ＳＥＭ方法研究了Ｐｔ和Ｔｉ的扩散行为，发现在氧气氛中进行热处理造成Ｔｉ层的快速氧化，Ｔｉ厚度对Ｐｔ／Ｔｉ的扩散有很大影响．Ｐｔ／Ｔｉ的扩散造成其上的铁电薄膜较差的显微结构和性能．

引用

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