共 2 条
MEMS技术的现状和发展趋势
被引：28
作者：
刘光辉
亢春梅
机构：
[1] 信息产业部电子第四十九研究所!黑龙江哈尔滨
来源：
关键词：
微电子机械系统;
传感器;
执行器;
发展现状和趋势;
D O I：
10.13873/j.1000-97872001.01.020
中图分类号：
TN40 [一般性问题];
学科分类号：
080903 ;
1401 ;
摘要：
MEMS技术是一门新兴的技术 ,近年来 ,越来越受到世界各国的重视。主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势
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