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真空微电子毫米波器件
被引：2
作者：
庄学曾
机构：
[1] 中国科学院电子学研究所
来源：
关键词：
真空微电子，毫米波器件，真空集成电路，微波管，薄膜场致发射阴极;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN12 [微波电子管];
学科分类号：
摘要：
介绍了真空微电子分布放大器和真空微电子微波管两类器件，对其优点和问题进行了探讨，并就我国发展真空微电子毫米波器件提出了看法．
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