硅的准分子激光直写刻蚀微细加工特性研究

被引：3

作者：

苑伟政

马炳和

李晓莹

李铁军

王丽戈

刘晶儒

机构：

[1] 西北工业大学微机械与微细加工技术研究室!西安

[2] 西北核技术研究所

来源：

机械工程学报 | 2000年 / 03期

关键词：

准分子激光; 硅微细加工; 直写刻蚀加工;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG665 [光能加工设备及其加工];

学科分类号：

080201 ;

摘要：

针对微机械三维结构对准分子激光直写微细加工的要求，在试验研究基础上，讨论了硅已加工表面形貌、加工热与热影响区等特性，得出了加工脉冲数、能量与刻蚀深度间的相互关系。

引用

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页数：4

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共 3 条

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