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MEMS技术的发展与应用
被引：91
作者：
朱健
机构：
[1] 东南大学仪器科学与工程系 中电科集团第五十五研究所
[2] 江苏南京
来源：
关键词：
微机电系统;
微机械加工;
应用;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH703 [结构];
学科分类号：
080401 [精密仪器及机械];
摘要：
主要介绍了MEMS技术的背景、分类、应用、发展趋势。
引用
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