提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究

被引：3

作者：

谢耀 ^{[1
]}

赵永蓬 ^{[2
]}

王骐 ^{[2
]}

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

[2] 哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室光电子技术研究所

来源：

红外与激光工程 | 2013年 / 08期

关键词：

毛细管; 软X射线激光; XRD; Rowland谱仪; 类氖氩;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN248.6 [自由电子激光器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

为了提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光的强度,研究了工作介质中气体的掺杂对激光强度的影响。研究表明,在纯Ar中掺入适量的He显著地提高了激光的输出强度。通过对比在Ar中掺入Ne、N2以及Kr等其他气体的实验,系统地分析了He的掺入对等离子温度的影响,找到了在特定工作气压下最佳的掺杂比,有利于进一步提高毛细管放电46.9 nm软X射线激光的强度。在放电等离子体极紫外光刻(EUVL)光源研究过程中,也采用了在Xe中掺入适量He的方式以提高13.5 nm的输出强度。

引用

页码：2036 / 2040

页数：5

共 9 条

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