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相移干涉显微镜中移相误差分析
被引：6
作者：
丁志华，王桂英，王之江
机构：
[1] 中国科学院上海精密光学机械研究所
来源：
关键词：
移相术，相移干涉显微镜，检测精度;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH742.9 [];
学科分类号：
摘要：
本文具体分析了影响移相误差的多种因素，比较了在不同移相术中移相误差量对检测精度的影响，从而论证了五步移相术的合理性和利用压电陶瓷微位移传感器的现有定位精度实现０．１ｎｍ级检测精度的可行性。文中还给出了有关的数值计算结果和测试结果，并就有关问题进行了讨论。
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页数：7
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