薄膜磁致伸缩系数计算机辅助测试系统的设计

被引：5

作者：

蒋洪川

张文旭

张万里

机构：

[1] 电子科技大学微电子与固体电子学院

来源：

关键词：

磁致伸缩系数; 悬臂梁; 微挠度; 测试系统;

D O I：

10.13382/j.jemi.2005.03.014

中图分类号：

TP391.7 [机器辅助技术];

学科分类号：

摘要：

采用激光光杠杆放大的方法,利用位置敏感传感器(PSD)探测激光光点的位移,通过AD转换,由计算机EPP接口对数据进行采集,并利用C++开发了基于WINDOWS平台的数据采集处理可视化界面,设计实现了对悬臂梁微挠度的测量,最终得到薄膜磁致伸缩系数λ的可视化计算机辅助测试系统。

引用

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