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测量微位移的法-珀干涉仪
被引：9
作者：
徐毅
叶孝佑
李成阳
许婕
高峰
机构：
[1] 中国计量科学研究院
[2] 中国计量科学研究院 北京
[3] 北京
[4] 北京
来源：
关键词：
法-珀干涉仪;
纳米;
亚微米;
测量;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
研制了一种新型的折叠腔法-珀干涉仪,可适用于测量范围为100 nm以内的纳米级及数十毫米内的亚微米级位移测量,测量不确定度优于2nm。
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