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显微镜自动粗调焦的TennenGrad改进算法
被引:11
作者:
余超
王伯雄
郑汉卿
罗秀芝
张明照
机构:
[1] 清华大学精密仪器与机械学系
来源:
关键词:
显微镜;
自动调焦;
粗调;
调焦评价函数;
调焦策略;
D O I:
暂无
中图分类号:
TP391.41 [];
学科分类号:
080203 ;
摘要:
提出了使用Sobel算子或Laplace算子做卷积,对图像像素点进行绝对值相加的TennenGrad改进算法,以及La-place改进算法,和几种已有评价函数进行分析比较。为了判断粗调评价函数的优劣,对评价函数的判断准则进行了逐一分析,并且将平滑性、高效率、强壮性作为最主要的衡量标准。在搭建的显微镜粗调实验系统中,对较为复杂的MEMS器件-微加速度计进行粗调成像。另外,对显微成像系统的调焦策略进行分析研究,提出并比较分析了3种调焦策略,其中n点灰度比较策略是较优的策略。实验处理结果表明,改进的TennenGrad算法具有最优的粗调特性,调焦范围较大,达到了210μm;调焦分辨率高,达到7μm,同时调焦图像显示出曲线变得更加平滑,曲线部极值点由5个减为0个。
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页数:7
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