共 1 条
[1]
基于LS空间的IC真实缺陷图像的分割
被引：8
作者：
王俊平
郝跃
机构：
[1] 西安电子科技大学微电子研究所,西安电子科技大学微电子研究所陕西西安西安电子科技大学通信工程学院陕西西安,陕西西安
来源：
关键词：
真实缺陷;
图像分割;
明度;
饱和度;
LS空间聚类;
分段线性判别函数;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN407 [测试和检验];
学科分类号：
140101 [集成纳电子科学];
摘要：
在对集成电路(IC)真实缺陷进行分类与识别时,IC缺陷图像分割是非常重要的一步.本文提出一种新的IC缺陷图像分割方法.该方法首先将IC缺陷图像由RGB空间转换到HLS空间,然后根据IC缺陷图像背景像素的L及S值的分布,设计LS空间上的分段线性判别函数及聚类准则,最后由聚类准则完成IC真实缺陷图像的分割.实验结果表明,本文方法不仅可分割背景一致的IC图像,而且对背景不一致的图像也可获得满意的分割效果.从而为真实缺陷的分类与识别奠定了可靠基础.
引用
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页数：3
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