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硅发光研究
被引:22
作者
:
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
夏建白
机构
:
[1]
中国科学院半导体研究所
来源
:
半导体学报
|
1998年
/ 05期
关键词
:
多孔硅;
硅片;
发光器件;
量子限制效应;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TN304.120.1,O472.3 [];
学科分类号
:
0805 ;
080501 ;
080502 ;
080903 ;
摘要
:
硅发光对于在单一硅片上实现光电集成是至关重要的.本文介绍了目前已有的使硅发光的方法:掺深能级杂质,掺稀土离子,多孔硅,纳米硅以及Si/SiO2超晶格,讨论了两种可能的发光机制:量子限制效应和表面复合效应.最后介绍了两个硅发光器件,表明硅发光器件的前景是光明的
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