综述了非晶硅(a-Si)太阳电池在研究、开发和应用方面的新进展。采用H2稀释和较低衬底温度、防止O2、N2等杂质沾污、用氘代替H2等工艺提高i层质量;在p/i界面间生长适当的缓冲层以得到良好的p/i界面、优化三结迭层电池结构;目前,1cm2电池和900cm2组件的稳定转换效率分别达14%和10.2%,为a-Si电池的大规模应用展现了良好前景。介绍了美国Solarex公司在大面积多结电池组件生产化工艺研究方面的经验,强调严格控制TCO的沉积条件是重要的环节。同晶体Si电池比较,a-Si电池生产具有易于进行大面积自动化生产、原材料省、能耗低等特点,使它可能成为建造全球太阳电池发电网的主要侯选者。