微波等离子体低温制备金刚石薄膜

被引：4

作者：

曹传宝，彭定坤，孟广耀

机构：

[1] 复旦大学电子工程系，中国科技大学材料科学与工程系

来源：

关键词：

金刚石，微波等离子体，化学汽相淀积;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

用微波等离子体法在低于６００℃的条件下合成了金刚石薄膜，分别用Ｒａｍａｎ光谱、ＸＲＤ、ＸＰＳ，红外光谱对薄膜进行了表征；讨论了工艺条件同薄膜结构，特别是表面形貌的关系，指出低温有利于（１００）面的形成。

引用

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