基于微粒群算法的半导体炉管区调度应用研究

被引：1

作者：

秦小健

叶春明

马慧民

机构：

[1] 上海理工大学管理学院

来源：

上海理工大学学报 | 2006年 / 05期

关键词：

半导体制造; 炉管; 批处理; 微粒群算法;

D O I：

10.13255/j.cnki.jusst.2006.05.020

中图分类号：

TN305 [半导体器件制造工艺及设备];

学科分类号：

1401 ;

摘要：

提出了用微粒群算法来解决半导体炉管区的调度问题.给出了算法的具体过程及参数设置方案.实例计算的结果表明,该算法是解决半导体炉管区调度问题可行且高效的方法.

引用

页码：499 / 502

页数：4

共 4 条

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