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近代光学测试技术[M] 杨国光 主编 机械工业出版社 1986,
光学法检测超精加工面表面粗糙度的新进展
被引：6
作者：
杨国成
机构：
[1] 华侨大学机电系! 泉州
来源：
关键词：
光学法;
测量;
表面粗糙度;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP274.5 [];
学科分类号：
摘要：
本文针对超精加工面的测量特点，介绍近年来光学法检测表面粗糙度的进展。
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