未找到相关数据
高精度激光位移计
被引：3
作者：
金田一
载丰
机构：
来源：
关键词：
位移计;
激光;
象差;
透镜;
位置测量仪;
光量;
光能总量;
光斑直径;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
<正> 一、前言激光位移计是利用激光以非接触方式测量对象物体的距离、尺寸、形状和振动等的仪器。近年来出现了一些简单的元器件可供利用,如用作光源的半导体激光器(LD)、用作光接收元件的光学位置检测器件(PSD)。PSD 是以亮点像的位置作为模拟信号而输出的半导体器
引用
收藏
页码：16 / 19+4
+4
页数：5
相关论文