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软X射线聚焦波带片制备工艺的研究
被引：7
作者：
傅绍军，洪义麟，陶晓明，苏永刚
机构：
[1] 中国科技大学国家同步辐射实验室
来源：
关键词：
聚焦波带片，同步辐射，全息－离子束刻蚀;
D O I：
暂无
中图分类号：
O434.19 [应用];
学科分类号：
070207 ;
0803 ;
摘要：
利用全息光刻和离子束刻蚀技术制作了用于软Ｘ射线聚焦和色散的三种参数的高精度菲涅耳（Ｆｒｅｓｎｅｌ）波带片，给出了实验结果。
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页码：1148 / 1150
页数：3
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