同步辐射软X射线多层膜分光反射率测试装置

被引：4

作者：

薛松

邵景鸿

徐正良

孙剑辉

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所

[2] 中国科学院长春光学精密机械研究所长春

[3] 长春

来源：

关键词：

多层膜反射镜; 单色器; 反射率计; 同步辐射; 磁轫致辐射; 轫致辐射; 测试装置;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

采用多层膜反射镜作为分光元件,成功地研制了同步辐射软X射线反射率计。可完成对各种光学反射镀层的光学常数的测试和评价。工作波段(2—20)nm,角分辨率0.01°,扫描范围(0—80)°。该装置安装在BEPC同步辐射实验室3B1光刻光束线上。

引用

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