一种基于希尔伯特变换实施相移的相位解调算法

被引:13
作者
高成勇
周灿林
机构
[1] 山东大学物理与微电子学院
[2] 山东大学物理与微电子学院 山东济南
[3] 山东济南 天津大学力学系天津
关键词
形貌检测; 小波变换; 希尔伯特变换; 相移法; 相位;
D O I
10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2004.04.039
中图分类号
O436 [物理光学(波动光学)];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
相移法因其精度高、运算简单,所以被广泛应用于形貌检测中的相位解调。该方法的弱点是:不仅要采集多幅相移图像,而且不能克服相移器的移相误差。将小波分析与希尔伯特变换结合起来,采用小波分析去除直流背景成分,利用希尔伯特变换方法实现90°相移;利用相移法解调形貌相位,由于是采用软件来实现相移的,因此只需采集一幅变形栅线图。对该方法与传统相移技术进行了模拟比较实验,结果表明,该方法具有较高的精度。
引用
收藏
页码:508 / 509+512 +512
页数:3
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共 5 条
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