基于块匹配技术的ME MS器件平面微运动特性的测量

被引：3

作者：

金翠云

栗大超

靳世久

王立坤

李一博

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

[2] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津　

[3] 天津　

来源：

吉林大学学报(工学版) | 2004年 / 03期

关键词：

自动控制技术; MEMS谐振器; 动态特性; 频闪成像; 块匹配;

D O I：

10.13229/j.cnki.jdxbgxb2004.03.022

中图分类号：

TN407 [测试和检验];

学科分类号：

摘要：

为测量MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数,基于频闪成像原理得到了MEMS谐振器一个周期内各时刻的清晰运动图像,利用块匹配技术对MEMS谐振器的运动图像进行处理,从而得到其特性参数,为MEMS器件的设计提供重要参考。实验结果表明,该方法具有较好的测量精度,测量重复性达到40nm。

引用

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