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光栅机分度误差的实时测量与研究
被引:1
作者
:
王晓琳
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0
引用数:
0
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0
王晓琳
机构
:
来源
:
光学机械
|
1991年
/ 02期
关键词
:
光栅;
分度精度;
谱线;
分度误差;
衍射图样;
鬼线;
衍射波;
实时测量;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
本文提出了对光栅分度误差进行实时测量的方法。文中阐述了这一方法的原理和实现过程。根据实际测量结果对机器进行了精细调整,并对测量数据进行分析,给出了光栅机的分度精度,同时根据Stroke理论应用Fourier变换方法分析了分度误差对光栅谱线产生的影响,实践证明,用运算法得到的谱线与用光谱法得到的谱线基本一致。
引用
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页数:4
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