光栅机分度误差的实时测量与研究

被引:1
作者
王晓琳
机构
关键词
光栅; 分度精度; 谱线; 分度误差; 衍射图样; 鬼线; 衍射波; 实时测量;
D O I
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中图分类号
学科分类号
摘要
本文提出了对光栅分度误差进行实时测量的方法。文中阐述了这一方法的原理和实现过程。根据实际测量结果对机器进行了精细调整,并对测量数据进行分析,给出了光栅机的分度精度,同时根据Stroke理论应用Fourier变换方法分析了分度误差对光栅谱线产生的影响,实践证明,用运算法得到的谱线与用光谱法得到的谱线基本一致。
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