纳米计量及定位技术简述

被引：7

作者：

吴一辉，王立鼎

机构：

[1] 中科院长春光机所

来源：

关键词：

纳米计量; 纳米技术; 压电; 代表性; 定位方法; 定位法; 纳米定位技术; 执行元件; 定位精度; 原子尺度; 纳米级定位;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1995.s1.010

中图分类号：

TB9 [计量学];

学科分类号：

0804 ; 080402 ;

摘要：

纳米计量和纳米定位是纳米技术的基础，是通向原子尺技术的关键。本文概述了纳米计量和定位技术的现状，分析了具有代表性的计量及定位方法及其特点，指出了它们未来的发展趋势。

引用

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