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微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)
被引：9
作者：
荣烈润
机构：
来源：
关键词：
微机械(微电子机械系统);
制造技术;
微细加工技术;
微机械加工技术;
D O I：
暂无
中图分类号：
TG66 [特种加工机床及其加工];
学科分类号：
080606 [材料冶金];
摘要：
介绍了微机械加工技术的现状及其发展趋势。
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