退火处理对纳米ZnO膜结构及气敏特性的影响

被引：2

作者：

马勇

王万录

廖克俊

葛芳芳

机构：

[1] 重庆大学数理学院

[2] 重庆大学数理学院重庆

[3] 重庆师范学院物理系

[4] 重庆

来源：

关键词：

ZnO膜; 退火; 气敏特性;

D O I：

10.13250/j.cnki.wndz.2003.z1.033

中图分类号：

TN304 [材料];

学科分类号：

0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;

摘要：

用X射线衍射和透射电镜表征了直接沉淀法制得的纳米ZnO粉体的晶型、晶格常数、粒径及形貌等。研究了退火对纳米ZnO粉体制成的膜气敏性质和微结构的影响。结果表明低温退火可以改善ZnO膜的微结构和气敏效应的稳定性。

引用

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