数字全息计量技术及其在微小位移测量中的应用

被引：7

作者：

计欣华

许方宇

陈金龙

秦玉文

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

[2] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津

[3] 天津

来源：

实验力学 | 2004年 / 04期

关键词：

数字全息; 微小变形测量; MEMS; 图像处理;

D O I：

暂无

中图分类号：

O438 [信息光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

数字全息是用数字的方式记录和处理全息图像 ,避免了传统全息照相的化学处理 ,既简化了处理过程 ,更便于用数字图像处理的方式来改进图像质量和提取信息。数字全息干涉计量技术是一种全场、非接触的光学测量方法 ,该方法测量精度高 ,光路简单 ,对防振要求低 ,实验条件容易满足 ,特别适合微小物体的微小位移或变形的精确测量。本文运用数字全息干涉计量法测定了两端固支梁的微小离面位移 ;经实验验证数字全息计量术能精确测量物体 0 .0 1微米量级位移或变形 ;而且该方法可靠性好、成本低 ;是非接触的无损测量。数字全息计量技术的这些特点使得该技术在小物体的微小变形测量上具有特别的优越性 ,因而在MEMS结构及MEMS材料参数 (如弹性模量、泊松比、热变形系数等 )的测定中有广阔的应用前景

引用

页码：443 / 447

页数：5

共 4 条

[1]

The determination of material parameters of microcomponents using digital holography. Seebacher S,Osten W,Baumbach T,Juptner W. Optics and Lasers in Engineering . 2001

[2]

Measurement of Displacement Vector Fields of Extended Objects. Osten W,Juptner W. Optics and Lasers in Engineering . 1996

[3]

Direct phase determination in hologram interferometry with use of digitally recorded holograms , J. Schnars U. Journal of the Optical Society of America . 1994

[4]

Digital recording and numerical reconstruction of lensless Fourier holograms in optical metrology. Wagner C,Seebacher S,Osten W,Juptner W. Applied Optics . 1999

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