激光烧结纳米ZnO气敏传感器制备及其气敏特性研究

被引：11

作者：

王林

张覃轶

祝柏林

王爱华

谢长生

机构：

[1] 华中科技大学材料学院

来源：

传感技术学报 | 2003年 / 04期

关键词：

激光烧结; 纳米ZnO; 气敏传感器;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

以激光 -感应复合加热法制备的纳米ZnO为原料 ,用激光烧结法制成的气敏传感元件 ,对乙醇、丙酮等五种挥发性有机化合物的敏感性进行了测定 ,同时又对所制成的传感元件作了SEM分析。实验表明 ,采用激光烧结的纳米ZnO较之电炉烧结的敏感度高 ,孔洞细小、孔隙率增多 ;且随着激光加工功率的提高 ,达到最大敏感度的温度却有所降低

引用

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