氮化钽薄膜的制备及其血液相容性研究

被引：23

作者：

冷永祥

黄楠

杨萍

曾晓兰

机构：

[1] 西南交通大学材料工程系!成都，,西南交通大学材料工程系!成都，,西南交通大学材料工程系!成都，,西南交通大学材料工程系!成都，

来源：

功能材料 | 1998年 / 06期

关键词：

反应溅射; 氮化钽; 血液相容性; 人工心脏瓣膜材料;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB383 [特种结构材料];

学科分类号：

080906 [电磁信息功能材料与结构];

摘要：

本文利用磁控反应溅射技术制备氮化钽薄膜，对磁控反应溅射制备氮化钽薄膜的工艺参数（包括氮分压比、加热温度、溅射压力、溅射电流）用正交设计进行优化。研究表明，影响氮化钽薄膜结合力的主要因素为溅射压力和加热温度，氮分压比、溅射电流为次要因素；氮分压对氮化钽薄膜的硬度影响较大。动态凝血及血小板粘附实验研究表明，氮化钽薄膜的血液相容性性能优于热解碳（LTIC）。

引用

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