共 2 条
[1]
具有重叠衍射峰低对称晶系材料的定量织构分析[J] 王沿东，徐家桢 金属学报 1995, 24
[2]
统计物理引论[M] 陈仁烈编著; 人民教育出版社 1963,
多晶沉积薄膜生长过程中织构演变的模拟研究
被引：6
作者：
王沿东
刘沿东
徐家桢
梁志德
不详
机构：
[1] 东北大学材料科学与工程系!沈阳，
来源：
关键词：
多晶薄膜;
织构演变;
组态熵;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484 [薄膜物理学];
学科分类号：
070204 [等离子体物理];
摘要：
将织构组态熵的概念应用于沉积多晶薄膜织构演变的模拟研究，考虑薄膜沉积过程中晶体表面能各向异性及应变能各向异性的变化，建立了沉积薄膜晶体择优生长的定量模型；模拟了Al多晶薄膜沉积过程中晶体的生长规律，分析了织构演变的主要微观物理因素.
引用
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页数：6
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