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浮法抛光亚纳米级光滑表面
被引：13
作者：
高宏刚，曹健林，陈星旦
机构：
[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
来源：
关键词：
超光滑表面，亚纳米，浮法抛光;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH74 [光学仪器];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
本文是对现阶段进行的超光滑表面浮光抛光研究的简要总结，介绍了浮法抛光原理样机的基本结构，以及实现亚纳米浮法抛光的主要条件，并给出了亚纳米级光滑表面的检测结果。
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页数：2
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