集成铜电极的聚甲基丙烯酸甲脂电泳芯片的制作

被引：7

作者：

刘军山

罗怡

杜艳

刘冲

王立鼎

周伟红

杨秀荣

机构：

[1] 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,中国科学院长春应用化学研究所电分析化学国家重点实验室,大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,吉林大学南岭校区化学学院,中国科学院长春应用化学研究所电分析化学国家重点实验室大连,大连,长春,吉林大学南岭校区化学学院,长春,大连,大连,长春,长春

来源：

分析化学 | 2005年 / 04期

关键词：

聚甲基丙烯酸甲脂; 电泳芯片; 铜电极; 二次曝光; 电化学检测;

D O I：

暂无

中图分类号：

O657.1 [电化学分析法];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

在聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)上溅射金属Cu,然后利用光刻、湿法腐蚀的办法制出铜电极。与另一片含有微沟道的PMMA基片热键合,制成集成铜电极的电泳芯片。在电极制作过程中,对Cu表面上覆盖的正性光刻胶的前、后烘烤温度及时间进行了研究。对Cu腐蚀液的选择及其浓度的确定进行了分析。首次提出采用二次曝光的办法去除铜电极表面的光刻胶。为了证明该种方法的可行性,在制作的一种集成铜电极的PMMA芯片上,进行了循环伏安及动态伏安实验,采用安培法对葡萄糖溶液的电泳分析进行检测。

引用

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