现代分析技术在薄膜材料研究中的应用

被引：3

作者：

晋勇

赵海波

田良

曲敏

胡希川

王玉环

机构：

[1] 四川大学

[2] 成都工具研究所

[3] 成都工具研究所成都工具研究所

来源：

工具技术 | 2003年 / 10期

关键词：

薄膜材料; 研究; 现代分析技术;

D O I：

10.16567/j.cnki.1000-7008.2003.10.004

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

介绍了几种现代分析仪器和技术的特点及其在薄膜材料研究中的应用情况。指出要充分了解各种分析技术的特点并加以综合运用 ,才能实现对薄膜材料更深入、更全面的认识

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