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激光散射理论及其在计量测试中的应用
被引：10
作者：
陈军
尤政
周兆英
机构：
[1] 清华大学精密仪器系
来源：
关键词：
散射,瑞利散射理论,米氏理论,测量,应用;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN24 [激光技术、微波激射技术];
学科分类号：
摘要：
本文系统地介绍了一门新近发展起来的学科———光散射及其应用技术。文中概述了散射理论的发展历史，详细介绍了瑞利散射定律及米氏理论，分析了散射与粒度、表面轮廓形貌统计特性及晶体内部微缺陷之间的数学关系，给出了激光散射在粒度、表面粗糙度测试及微缺陷检测中的应用实例
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