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现代低温泵的设计计算及工艺要求
被引：4
作者：
任家生
机构：
[1] 南京工学院电子工程系
来源：
关键词：
低温泵;
吸附剂;
化工用泵;
致冷机;
制冷机;
冷阵;
抽速;
设计计算;
D O I：
10.13385/j.cnki.vacuum.1986.03.005
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