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原子力显微镜
被引:44
作者
:
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机构:
张亦奕
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贺节
商广义
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机构:
中国科学院北京电子显微镜实验室
商广义
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机构:
姚骏恩
机构
:
[1]
中国科学院北京电子显微镜实验室
来源
:
光学学报
|
1995年
/ 01期
关键词
:
原子力显微镜,光学偏转法;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TN16 [电子光学仪器];
学科分类号
:
080508
[光电信息材料与器件]
;
摘要
:
研制成功了一台使用光学偏转法检测的原子力显微镜,通过对云母、光栅、光盘等样品的观测证明仪器达到原子分辨率,最大扫描范围可达7μm×7μm。文中将对这台原子力显微镜的原理、结构及一些应用结果进行讨论。
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页数:5
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1988,
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