原子力显微镜

被引:44
作者
张亦奕
贺节
商广义
姚骏恩
机构
[1] 中国科学院北京电子显微镜实验室
关键词
原子力显微镜,光学偏转法;
D O I
暂无
中图分类号
TN16 [电子光学仪器];
学科分类号
080508 [光电信息材料与器件];
摘要
研制成功了一台使用光学偏转法检测的原子力显微镜,通过对云母、光栅、光盘等样品的观测证明仪器达到原子分辨率,最大扫描范围可达7μm×7μm。文中将对这台原子力显微镜的原理、结构及一些应用结果进行讨论。
引用
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共 2 条
[1]
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