三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究

被引：8

作者：

丁洪斌

刘佳宏

宋志民

杨学锋

机构：

[1] 大连理工大学等离子体物理化学实验室!大连

来源：

关键词：

原位取样; 离子检测; 分子束质谱;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.1999.02.010

中图分类号：

TN105 [电真空器件制造工艺];

学科分类号：

摘要：

研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置 ,该装置在 1330 0Pa典型气体采样压力下 ,三级差分抽气区的压力分别达到 5× 10 - 1,3× 10 - 3,1 2× 10 - 4Pa。利用该装置 ,已成功地实现了对活性离子物种N+ 和N+ 2 的“原位”检测

引用

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