大行程高精度两级定位工作台的控制方法研究

研究了具有宏微两级驱动双定位工作台的控制技术，该工作台采用直线电机进行大位移驱动，来保证较大的工作行程和较快的响应速度，而采用电致伸缩微位移器完成精密位置驱动，利用单频激光干涉仪实现闭环位置反馈。将该系统应用于实际中，可以实现５００ｍｍ的工作行程内小于０．０２μｍ的重复定位精度。