用电弧等离子体制备超细AlN粉末的研究

介绍了利用直流电弧等离子体制备超细AlN粉末的方法。实验结果表明,在N2-Ar气氛中制备的超细粉末是Al和AlN混合物,而在N2-NH3气氛中能制备出高纯度的超细AlN粉末。X射线衍射分析证明,在适当分压比的N2-NH3混合气体中所制出的超细AlN粉末不存在Al（即其氮化率达到100％）,所得AlN粒子的最大几率直径为5.29nm,几何平均直径为21.0nm。本文最后对电弧等离子体的作用,AlN超细颗粒的生成机理及影响超细粉末中AlN含量的主要因素作了分析。