变包含角平面光栅单色仪的机械精度分析与测试

被引：4

作者：

刘楷 ^{[1
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薛松 ^{[1
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卢启鹏 ^{[3
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彭忠琦 ^{[3
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吴坤 ^{[1
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陈家华 ^{[1
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王勇 ^{[1
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巩志华 ^{[1
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机构：

[1] 中国科学院上海应用物理研究所

[2] 中国科学院研究生院

[3] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

来源：

核技术 | 2009年 / 32卷 / 12期

关键词：

变包含角平面光栅单色仪; 光电自准直仪; 转角重复精度; 测量;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

在上海同步辐射装置软X射线谱学显微光束线站建设中,为达到变包含角平面光栅单色仪的能量分辨率要求,平面镜和光栅的转角重复精度必须要求达到0.43"。为此我们建立了一套由光电自准直仪组成的测试系统,可以对平面镜和光栅机构进行测试。应用该系统测试了平面镜转角重复精度为0.166",光栅转角重复精度为0.149",分辨率达到0.03",满足了平面镜和光栅的转角重复精度和分辨率要求。此外,还测量了光栅切换机构的重复精度。

引用

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