用于电容式传感器的差动线性电路

被引:7
作者
王莉田
张玉艳
王玉田
机构
[1] 燕山大学电气工程学院
关键词
电容式传感器; 小电容测量; 线性电路; 电容/电压转换;
D O I
10.13873/j.1000-97872002.04.014
中图分类号
TP212 [发送器(变换器)、传感器];
学科分类号
080202 ;
摘要
提出了一种差动电容式传感器的前置电路 ,基于电容 /电压转换的原理 ,对微小电容变化量进行测量。电路输出的直流电压与差动电容变化量成线性关系 ,且能对偏差电容和电路的漂移进行自动补偿。实验表明 ,被测电容分辨力为 8fF ,灵敏度可达 3.82× 10 11V/F。实验结果和理论分析具有良好的一致性
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