光纤传感器在微机电系统振动测量中的应用

被引：3

作者：

李鸣明

王昭

贾书海

谭玉山

机构：

[1] 西安交通大学机械学院激光所!西安,西安交通大学机械学院激光所!西安,西安交通大学机械学院激光所!西安,西安交通大学机械学院激光所!西安

来源：

光子学报 | 2001年 / 04期

关键词：

干涉仪; 相位跟踪; 分光计;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

本文介绍的光纤传感器根据 Michelson干涉仪的原理 ,通过测量相干光的干涉条纹的移动来测量反射面的位移 .同时 ,利用宽带光源 ,采用相位跟踪技术测量极微小的位移和位移的方向 .从而 ,既能测量 nm级极微小的振动 ,也能测量 mm级的振动 .为了适应高频振动的测量 ,引入 DSP充当数据处理系统的核心 ,提高处理速度 .该光纤传感器设计巧妙 ,精度高 ,使用方便

引用

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