用157nm激光制作的光子晶体光纤法布里-珀罗传感器

被引：19

作者：

邓洪有

饶云江

冉曾令

廖弦

刘为俊

机构：

[1] 电子科技大学宽带光纤传输和通信网技术教育部重点实验室

来源：

光学学报 | 2008年 / 02期

基金：

国家自然科学基金重点项目;

关键词：

光纤光学; 光纤法布里-珀罗腔; 激光微加工; 应变传感器; 光子晶体光纤;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

157nm准分子激光用于微加工具有单光子能量高,峰值功率高,材料吸收系数高,分辨率高等优点。利用157nm激光微加工的方法,在光子晶体光纤上融切出微小矩形孔,从而构成腔长为45.6μm的微光纤法布里-珀罗干涉腔,得到的干涉条纹平滑,衬比度约为26dB,并从激光与石英材料的相互作用上分析了形成较好干涉条纹的原因。把这种微腔应用于应变测量,在550μm范围内,腔长增量相对于应变的灵敏度为0.32nm/μm,线形度达0.9994。实验证明该微腔对温度不敏感,800℃范围内腔长变化仅20nm。157nm准分子激光加工光纤法布里-珀罗腔方法简单,一次成型,具有较高的加工效率和精度,有望实现光纤法布里-珀罗腔的规模化批量制造,具有较好的应用前景。

引用

页码：255 / 258

页数：4

共 7 条

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