脉冲激光等离子体合成SiC陶瓷粉末过程研究

被引：2

作者：

傅广生

于威

韩理

李晓苇

张连水

机构：

[1] 河北大学物理系

来源：

光电子·激光 | 1994年 / 05期

关键词：

等离子体合成; 激光等离子体; 粉末材料; 脉冲激光; SiC;

D O I：

10.16136/j.joel.1994.05.006

中图分类号：

TQ174.758 [];

学科分类号：

摘要：

本文用强ＴＥＡＣＯ２脉冲激光诱发ＳｉＨ４＋ＣＨ４等离子体化学气相反应制备出纳米ＳｉＣ陶瓷粉末，分析并讨论了制备粉末材料的实验过程，得到了粉末合成的最佳工艺条件。

引用

收藏

页码：290 / 295

页数：6

相关论文

共 1 条

[1] 激光等离子体淀积硅膜 [J].

傅广生 ;

韩理 ;

李晓苇 ;

张连水 ;

董丽芳 ;

吕福润 ;

薛春银 .

物理学报, 1987, (03) :293-300+411