MPCVD合成P型金刚石薄膜的电导—温度机理

被引：3

作者：

贾宇明

杨邦朝

机构：

[1] 电子科技大学信息材料工程学院!成都

来源：

关键词：

P型金刚石薄膜; MPCVD; 电导—温度机理; 能带模型;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB383 [特种结构材料];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

研究了温度对 P型金刚石薄膜电导性能的影响。采用微波等离子体化学气相沉积 ( MPCVD)的方法在 Si3N4 基片上制作了掺硼金刚石薄膜。测量了不同掺硼浓度的电导温度特性关系 ,提出了一种简化的能带模型 ,解释了电导机理。基于能带模型计算出的电导—温度关系结果与试验结果相符合。

引用

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