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脉冲激光辐照光学薄膜的缺陷损伤模型
被引：16
作者：
赵元安
王涛
张东平
贺洪波
邵建达
范正修
机构：
[1] 上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研究与发展中心,上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研究与发展中心,上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研究与发展中心,上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研究与发展中心,上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研究与发展中心,上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研究与发展中心上海,上海,上海,上海,上海,上海
来源：
关键词：
光学薄膜;
激光损伤阈值;
缺陷损伤模型;
吸收截面;
散射系数;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB43 [薄膜技术];
学科分类号：
0805 ;
摘要：
建立了缺陷吸收升温致薄膜激光损伤模型,该模型从热传导方程出发,考虑了缺陷内部的温度分布以及向薄膜的传导过程,通过引入散射系数简化了Mie散射理论得出的吸收截面.对电子束蒸发沉积的ZrO2∶Y2O3单层膜进行了激光破坏实验,薄膜样品的损伤是缺陷引起的,通过辉光放电质谱法对薄膜制备材料的纯度分析发现材料中的主要杂质元素为铂,其含量为0.9%.利用缺陷损伤模型对损伤过程进行了模拟,理论模型和实验结果取得了较好的一致性.
引用
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页码：1372 / 1375
页数：4
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