磁控溅射薄膜附着性能的影响因素

被引：7

作者：

宋文龙 ^{[1
]}

邓建新 ^{[2
]}

赵金龙 ^{[2
]}

机构：

[1] 山东大学机械工程学院

[2] 山东大学

来源：

工具技术 | 2007年 / 10期

关键词：

磁控溅射; 薄膜; 附着性;

D O I：

10.16567/j.cnki.1000-7008.2007.10.001

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

磁控溅射薄膜技术的应用日趋广泛,溅射薄膜的附着性是制约薄膜性能和使用效果的关键因素。本文结合作者进行的研究,参考国内外参考资料和文献,对薄膜附着性的影响因素做了综合评述,为提高和改善薄膜使用性能提供指导和参考。

引用

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页数：4

共 10 条

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