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CVD金刚石薄膜的应力研究
被引：13
作者：
唐壁玉
靳九成
李绍绿
周灵平
陈宗璋
机构：
[1] 湖南大学化学化工系
[2] 湖南大学测试中心
来源：
关键词：
化学气相沉积,金刚石薄膜,X射线衍射,应力;
D O I：
暂无
中图分类号：
O434.1 [X射线];
学科分类号：
070207 ;
0803 ;
摘要：
利用Ｘ射线衍射研究了化学气相沉积的金刚石薄膜的应力情况。研究表明：热应力在研究范围内为压应力，本征应力是张应力。分析了薄膜厚度、生长温度、碳源浓度等实验参数对薄膜应力的影响
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